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カソードルミネッセンス(CL)法は、試料に電子線を照射した際に放出される光を検出する手法である(図1)。SEM像で位置の確認を行いながら 17インチ サマータイヤ セット【適応車種:インプレッサ(GH系 ハッチバック 16インチ装着車)】A-TECH シュナイダー DR01 GGC ブラックポリッシュ+グラマラスゴールドクリア 7.0Jx17ヨコハマ エコス ES31 205/50R17、任意の場所の状態分析を行うことができる。CLは伝導帯の底付近から価電子帯の頂上付近への遷移に対応するため、元素情報ではなく結晶としての性質(結晶欠陥 ラフ&ロード(ラフアンドロード) 秋冬モデル RR4008 SSFオールウェザージャケット [レッド/BM]、不純物、キャリア濃度、応力等)を反映する(図2)。表1にCL法の対象分野を示す。材料により得られる情報は異なるが 、空間分解能が高いため特に素子状態の評価に適している。一般的なCL装置の概略図を図3に示す。通常、電子線の励起源かつ位置の確認用に走査型電子顕微鏡(SEM)が用いられる。試料からのCLは集光ミラーで集光され、直接あるいは光ファイバーを通して分光器に導かれ、各種検出器で検出される。

  • 図1 電子線と材料との相互作用の概念図
  • 図2 電子遷移の模式図
  • 図3 CL装置の概略図

表1 CL法の応用分野

材料 代表例 主な応用分野 評価項目
半導体 Si,SiGe,SiC 電子デバイス(LSI.IC,パワーMOSFET,IGBT) 欠陥、転位 brembo/ブレンボ ブラックパッド Cクラス W203 (WAGON) 203246 02/08~08/04 フロント 左右セット メルセデス・ベンツ ブレーキパッド、不純物
GaAs,InP,GaN,AnSe 光デバイス(LD,LED,PD)
電子デバイス(FET,HEMT,HBT,SBD)
組成、キャリア濃度、欠陥、転位
炭素材料 ダイヤモンド、カーボン膜、
フラーレン、ナノチューブ
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